參數(shù)

• 適用壓力區(qū)間：大氣壓 10? Pa ～ 高真空 10?? Pa

• 閥座內(nèi)部泄漏率：≤1×10?? Pa?m3/s

• 傳動(dòng)軸外部泄漏率：≤1×10?1? Pa?m3/s（超高真空級(jí)別）

• 密封材質(zhì)：FKM 氟橡膠 O 型圈，低釋氣、耐工藝氣體腐蝕

• 過(guò)流接觸材質(zhì)：閥體 / 閥盤(pán)全 SUS304 不銹鋼，電解拋光潔凈內(nèi)腔，低顆粒析出

• 

特點(diǎn)

1. 0～100% 線性開(kāi)度連續(xù)可調(diào)，可全程節(jié)流調(diào)節(jié)（全關(guān)→全開(kāi)）

2. 配套 MIYUKI MS-VP2.0 真空壓力控制器，實(shí)現(xiàn)真空度閉環(huán)自動(dòng)穩(wěn)壓

3. 響應(yīng)速度快，適配刻蝕、鍍膜動(dòng)態(tài)工藝壓力波動(dòng)補(bǔ)償

4. 閥位實(shí)時(shí)電壓輸出，可接入上位機(jī)記錄工藝曲線

應(yīng)用場(chǎng)景

1. 半導(dǎo)體刻蝕、薄膜沉積設(shè)備主真空節(jié)流調(diào)壓

2. 光學(xué)鍍膜、電子束蒸發(fā)、同步輻射科研真空腔體

3. 光伏、鋰電真空制程、高純特種氣體管路壓力穩(wěn)定

4. 超高真空實(shí)驗(yàn)室精密壓力控制系統(tǒng)